主要性能指標:
玻璃處理室:Φ100mm、高度130mm
試樣臺尺寸:Φ40mm可同時放6個樣品杯
金靶尺寸:Φ58mm
真空系統(tǒng):直聯(lián)旋片真空泵2L/S
真空檢測:皮氏計
真空保護:20Pa配有微量充氣閥調節(jié)工作真空
工作室工作媒介氣體:空氣或氬氣,配有氬氣專用進氣口和微量充氣調節(jié)
小型離子濺射儀小型離子濺射儀小型離子濺射儀小型離子濺射儀小型離子濺射儀小型離子濺射儀小型離子濺射儀小型離子濺射儀小型離子濺射儀小型離子濺射儀
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